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IGP controllers
Wie wird der Druck in Strom umgewandelt? + Manual raussuchen! + Welche Pumpe wird verwendet
Antwort: Eine Umwandlung des Drucks in Strom findet nicht statt, die IonGetterPumpe benötigt zur Inbetriebnahme des Sputerprozesses Strom, dieser wird aufgezeichnet; der Druck P(I) wird aus einem Diagramm herausgelesen/ abgeleitet (Siehe Manual IGP/ Controller)
Company: MiniVac
- Controller IGP Typ: 929-0290 Baujahr 2008
- IGP Plus20 StarCell (keine Edelgasstabilität)/ Modellnr. 9191144
- Datasheet: igp_-_vp20n.pdf