IGP controllers

Wie wird der Druck in Strom umgewandelt? + Manual raussuchen! + Welche Pumpe wird verwendet

Antwort: Eine Umwandlung des Drucks in Strom findet nicht statt, die IonGetterPumpe benötigt zur Inbetriebnahme des Sputerprozesses Strom, dieser wird aufgezeichnet; der Druck P(I) wird aus einem Diagramm herausgelesen/ abgeleitet (Siehe Manual IGP/ Controller)

Company: MiniVac

Controller IGP Typ: 929-0290 Baujahr 2008

Datasheet: 87-900-049-01_f_minivac_controller_120-220_users_manual.pdf

IGP Plus20 StarCell (keine Edelgasstabilität)/ Modellnr. 9191144

Datasheet: igp_-_vp20n.pdf